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      自動(dòng)膜厚測(cè)量系統(tǒng)

      自動(dòng)膜厚測(cè)量系統(tǒng)

      產(chǎn)品型號(hào): F50

      所屬分類(lèi):測(cè)厚儀

      產(chǎn)品時(shí)間:2025-08-06

      簡(jiǎn)要描述:日本filmetrics自動(dòng)膜厚測(cè)量系統(tǒng)F50
      F50自動(dòng)測(cè)繪膜厚測(cè)量系統(tǒng)是將基于光學(xué)干涉原理的膜厚測(cè)量功能與自動(dòng)高速載物臺(tái)相結(jié)合的系統(tǒng)。
      以過(guò)去無(wú)法想象的速度測(cè)量點(diǎn)的膜厚和折射率。它支持從2英寸到450毫米的硅基板,并且可以任何測(cè)量點(diǎn)。

      詳細(xì)說(shuō)明:

      日本filmetrics自動(dòng)膜厚測(cè)量系統(tǒng)F50


      F50自動(dòng)測(cè)繪膜厚測(cè)量系統(tǒng)是將基于光學(xué)干涉原理的膜厚測(cè)量功能與自動(dòng)高速載物臺(tái)相結(jié)合的系統(tǒng)。
      以過(guò)去無(wú)法想象的速度測(cè)量點(diǎn)的膜厚和折射率。它支持從2英寸到450毫米的硅基板,并且可以任何測(cè)量點(diǎn)。
      還有與大型玻璃基板兼容的可選產(chǎn)品。

      主要特點(diǎn)

      • 結(jié)合基于光學(xué)干涉原理的膜厚測(cè)量功能和自動(dòng)高速載物臺(tái)的系統(tǒng)

      • 以過(guò)去無(wú)法想象的速度測(cè)量點(diǎn)的膜厚和折射率

      • 兼容2英寸至450毫米的硅基板,可任何測(cè)量點(diǎn)

      日本filmetrics自動(dòng)膜厚測(cè)量系統(tǒng)F50

      主要應(yīng)用

      半導(dǎo)體
      抗蝕劑、氧化膜、氮化膜、非晶/多晶硅、拋光硅片、化合物半導(dǎo)體襯底、?T襯底等。
      平板單元間隙、聚酰亞胺、ITO、AR膜、
      各種光學(xué)膜等。
      薄膜太陽(yáng)能電池CdTe、CIGS、非晶硅等
      砷化鋁鎵(AlGaAs)、磷化鎵(GaP)等

      測(cè)量示例

      薄膜厚度分析 FIL Mapper 軟件具有強(qiáng)大而*的薄膜厚度分析算法和可以讓您輕松測(cè)量點(diǎn)的功能。




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