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      腐蝕性特殊氣體用哈司特鎳合金壓力傳感器

      腐蝕性特殊氣體用哈司特鎳合金壓力傳感器

      產(chǎn)品型號: PC-601系列

      所屬分類:壓力傳感器

      產(chǎn)品時(shí)間:2025-08-05

      簡要描述:日本pureron腐蝕性特殊氣體用哈司特鎳合金壓力傳感器PC-601系列
      半導(dǎo)體設(shè)備的生產(chǎn)線中、HBr、HCl等鹵素反應(yīng)性、腐蝕性特殊氣體大量被使用。這些腐蝕性氣體會在使用的氣體供給管道、壓力傳感器、氣體過濾器等不銹鋼內(nèi)表面吸附并 和少量的水分反應(yīng),形成腐蝕生成物。

      詳細(xì)說明:

      日本pureron腐蝕性特殊氣體用哈司特鎳合金壓力傳感器PC-601系列

      半導(dǎo)體設(shè)備的生產(chǎn)線中、HBr、HCl等鹵素反應(yīng)性、腐蝕性特殊氣體大量被使用。這些腐蝕性氣體會在使用的氣體供給管道、壓力傳感器、氣體過濾器等不銹鋼內(nèi)表面吸附并 和少量的水分反應(yīng),形成腐蝕生成物。這種物質(zhì)是產(chǎn)生微粒子造成半導(dǎo)體工藝污染的原因。因此,我們采用了遠(yuǎn)比不銹鋼SUS316L具有耐腐蝕性的哈司特鎳合金® 開發(fā)出這種對應(yīng)腐蝕性氣體的壓力傳感器PC-601系列。

      • 高耐腐蝕性
        對應(yīng)HBr、HCl等鹵素反應(yīng)性、腐蝕性特殊氣體,氣體接觸部分采用遠(yuǎn)比不銹鋼SUS316L具有耐腐蝕性的哈司特鎳合金®,并進(jìn)行了電解研磨處理,充分發(fā)揮了其 出色的耐腐蝕性能力。
      • 高精度、高可靠性
        直線性、滯后性、重復(fù)精度的影響造成和*擬合線的最大偏差為±0.25%,具備高精度和高可靠性。
      • 測定范圍寬
        表壓的壓力范圍從0~172.4KPA(1.76KGf/cm2)到20,684KPa(210KGf/cm2),絕對壓的壓力范圍為0~2,586torr。
      • 使用壽命長
        各測量范圍都通過了100萬次的循環(huán)耐久測試。

      日本pureron腐蝕性特殊氣體用哈司特鎳合金壓力傳感器PC-601系列

      規(guī)格

       

      型號 表壓※絕對壓
      PSI25G50G100G200G500G3000G15A25A50A
      壓力范圍KPa0~172.40~344.70~689.50~1,378.90~3,447.30~20,6840~103.40~172.40~344.7
      kgf/cm20~1.760~3.520~7.030~14.060~35.160~210.9---
      torr------0~7760~1,2930~2,586
      精度(% 全量程)±0.5%±0.25%±0.5%

       

      ※所有的表壓類型可以連成。

       

      過載壓力全量程×2
      激勵(lì)電源電壓DC 5V(MAX 6V)
      保存溫度范圍-20℃~93℃(未通電)
      溫度補(bǔ)償范圍-1℃~71℃
      溫度漂移±0.05% FS/℃
      信號輸出100mV(20mV/V) ※25G ?50Gは、50mV(10mV/V)
      跨度100mV±15mV ※25G ?50Gは、50mV ± 15mV
      偏移量0mV ± 10mV
      外部泄漏量2×10-11Pa?m3/sec
      氣體(液體)接觸部分哈司特鎳合金®
      連接零件1/4" Gasket seal、 Compression seal、其它

       

       



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