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      低壓力損失金屬氣體過濾器

      低壓力損失金屬氣體過濾器

      產品型號: UCD系列

      所屬分類:過濾器

      產品時間:2025-08-05

      簡要描述:日本pureron低壓力損失金屬氣體過濾器UCD系列
      過濾器材料全部采用SUS316L,不用擔心腐蝕和中間產物,同時具備較高的耐熱性能。

      詳細說明:

      日本pureron低壓力損失金屬氣體過濾器UCD系列

       

      • 過濾器材料全部采用SUS316L,不用擔心腐蝕和中間產物,同時具備較高的耐熱性能。
      • 使用氮氣(N2)輸入,當過濾器輸入側壓力為0.2MPa、流量為90SLM時,輸出側壓力損失△為0.05MPa。
      • 固定或脈動方式下過濾精度經CNC確認達到0.003μm,實現了超微ULSI的制造的成品率大幅度提高。

      日本pureron低壓力損失金屬氣體過濾器UCD系列

      規(guī)格

       

      過濾精度0.003μm
      推薦流量10~100?/min(各型號區(qū)別:參考流量特性曲線)
      最高使用壓力0.98MPa(142PSIG) at20℃
      最大容許差壓0.7MPa(101.5PSIG) at20℃
      最高使用溫度460℃
      外部泄漏量2×10-11Pa?m3/sec以下
      構成材料外罩:SUS316L(電解研磨處理)元素:SUS316L 內表面粗糙度:Rmax0.7μm以下
      連接零件1/4"Gasket seal、其它


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