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目視檢查燈NP-5在圓晶生產(chǎn)中的運(yùn)用
什么是硅晶圓？ | |||||||||
| 是半導(dǎo)體芯片的原材料，以及稱為ingot的高硫化硅的原材料被處理成薄磁盤。為了在其上應(yīng)用超精細(xì)處理，在鏡子上重復(fù)并完成拋光過程，例如包裝和拋光。您可以將其視為最平坦的事情。至于確認(rèn)掉落的灰塵，可用于大學(xué)研究的4英寸喚醒（100φ）很便宜，而且處理很容易。過去，沒有目的是確認(rèn)灰塵。 *它與用于粘合劑的硅酮不同。 |  | ||||||||
| ☆過去，那些份額的粘合劑紙被用于相同的目的。我從未直接比較可見性，但我認(rèn)為大約兩位數(shù)變得更容易。 | |||||||||
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如何使用硅晶圓 | |||||||||
[在硅Waeha中檢查垃圾的程序]
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 用法的圖像 | |||||||||
[在每個(gè)過程中粘貼掉灰塵的量]例如，假設(shè)您有以下生產(chǎn)線。該過程A使用設(shè)備，然后運(yùn)輸和存儲(chǔ)，并正在處理手頭上工作的過程B。以前，在最終檢查過程中，在此行中發(fā)現(xiàn)了垃圾缺陷的發(fā)現(xiàn)，如果是NG，將從過程中進(jìn)行修復(fù)。即使您采取垃圾措施，如果您不知道垃圾將遵守該過程的位置，則可以提高整個(gè)清潔室的清潔度，從而依靠粒子柜臺的價(jià)值或教育工人進(jìn)行教育清潔房間的舉止。 在這種情況下，對于諸如設(shè)備中的駕駛系統(tǒng)或存儲(chǔ)問題之類的情況，它幾乎無效。 但是，如果使用硅Waeha來收集灰塵的樣本，那么您在廢棄的時(shí)間內(nèi)增加了多少？您可以轉(zhuǎn)換為單位區(qū)域并預(yù)測垃圾附件。此外，由于可以在每個(gè)過程中單獨(dú)完成，即使您采取措施，也可以采取可以預(yù)期具有最小和最大效果的措施 。 此外，硅晶片可以與清理一樣多次使用，因此對于測量而言，它的成本很小。 | |||||||||
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| [補(bǔ)充 - 質(zhì)量可視化] 該方法不能判斷為秋季和塵埃的大小和大尺寸的“定量"，因此它是“定性可視化"。但是，我們可以判斷其中有多少（接近），因此我們認(rèn)為它可以用作客觀標(biāo)準(zhǔn)。 | |||||||||
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在硅晶片中看起來像什么？ | |||||||||
[硅晶圓粘合劑的外觀是什么樣的？這是給出的那么實(shí)際上是什么樣的？右側(cè)的照片是一般環(huán)境中的硅晶圓盒，它是用帶有滴和灰塵的攝像機(jī)閃光燈拍攝的。您根本看不到掉落的灰塵。當(dāng)然，您幾乎無法用正常的燈肉眼檢查垃圾。但是，接下來，您會(huì)看到相同的晶圓被多元的光照射，并且掉落的灰塵清楚地附著。目前，訣竅是在低角度以低角度照射偏振光，以免發(fā)生強(qiáng)反射。這樣，只出現(xiàn)晶圓上的垃圾。 這種方法的優(yōu)點(diǎn)之一是很容易拍照，但底部照片是上述照片的修剪。如果有些像纖維一樣，您可以清楚地檢查垃圾的形狀。在視覺確認(rèn)的情況下，最小的確認(rèn)可以確認(rèn)為約10μm。 |    | ||||||||
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觀察硅waeha的灰塵 | |||||||||
[觀察硅Waeha中的灰塵]接下來，讓我們嘗試根據(jù)周圍環(huán)境的掉落和灰塵的變化。首先，我們準(zhǔn)備了三個(gè)硅晶片，暴露于1）沒有假期的辦公室，2）戶外1F和3）30分鐘。右側(cè)的照片是收集和拍照的照片。1）假日辦公室...它不受歡迎，并且是最美麗的，因?yàn)樗皇軞g迎且沒有浮動(dòng)的灰塵。但是，您會(huì)看到一些相對較大的且輕便的異物附著。 2）1F戶外...最大的粘合劑量暴露于交通面臨的位置。大小有點(diǎn)小，其中許多是灰塵。 3）室外14F：您可以看到該數(shù)字小于1F。此處的目標(biāo)粒子是由于尺寸小而掉落得非常緩慢的粒子。因此，它漂浮在空中一段時(shí)間，但最終掉落。因此，位置越高，濃度越薄，而另一個(gè)則傾向于更靠近表面。 |    | ||||||||
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轉(zhuǎn)移并觀察粘附灰塵 | |||||||||
[轉(zhuǎn)移并觀察粘合灰塵]以同樣的方式，您可以將灰塵從干凈的房間中的手套和雨雨等工具轉(zhuǎn)移到硅晶圓上并進(jìn)行檢查。用干凈的雨刮器清理后，照片是晶圓的頂部。如果垃圾簡單地放在硅晶片上，則可以用干凈的刮水器 +工業(yè)酒精輕松將其除去。換句話說，可以低成本使用回收利用，因此您幾乎無法以這種方式關(guān)心運(yùn)行成本。 *由于干凈的長凳沒有用于拍攝，因此并非垃圾零。 接下來，讓我們用手套輕輕觸摸晶圓。目前，我只是稍微觸摸了它，而無需付出任何努力。 最后，在晶圓上觀察到我的鐘燈。觸摸后，您會(huì)看到垃圾連接到手指的形狀上。 這樣，您也可以從目標(biāo)中轉(zhuǎn)錄垃圾。 |    | ||||||||
| *在上面的實(shí)驗(yàn)中，去除層狀光的綠色過濾器進(jìn)行攝影。在視覺確認(rèn)的情況下，似乎很容易看到它何時(shí)具有綠色過濾器。 | |||||||||
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| 在這種情況下是有效的 | |||||||||
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硅晶圓晶圓盒 /專用鑷子 | |||||||||
| 北極光和最佳伴侶，硅瓦哈人是對下降和灰塵的有力確認(rèn)。易于-to -handle One -poce蓋，帶有彈簧的盒子（由聚丙烯制成），也可以同時(shí)使用專用的鑷子。 請從以下查詢表中使用。 *銷售方法是一組4英寸的硅晶片，還有一件箱子。請注意，我們不出售25個(gè)盒式磁帶。
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