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      Product center

      spectra在線膜厚測量裝置技術(shù)分析

      發(fā)布時間:2023-05-30 點(diǎn)擊量:1200

      spectra在線膜厚測量裝置技術(shù)分析

      使用小型卡爾蔡司光譜儀,根據(jù)形狀和尺寸對每種應(yīng)用進(jìn)行樣品包裝。
      從薄膜和圓盤形狀到玻璃板和圓柱狀物體,如果同時使用顯微光學(xué)系統(tǒng),則可以將光線縮小到細(xì)點(diǎn),并輕松測量樣品的薄膜厚度。

      image.png

      可測量樣本示例

      • 硅、氧化硅、氮化硅

      • 砷化鎵

      • 二氧化鈦

      • 光刻 膠

      • 染料膜、油膜和彩色濾膜

      • 影片

      • 涂料和粘合劑

      • 紫外光固化樹脂

      • 金屬氧化膜、介電膜

      • 聚合體

      • 空氣層

      • 光盤、中藥、光盤

      以1200mm薄膜厚度測量包為例,我們將介紹Enplanner。
      該系統(tǒng)可以測量長薄膜的薄膜厚度線輪廓。 安裝在執(zhí)行器上的光譜反射測量單元的最大行程為 1200 mm,可移動并測量薄膜厚度。 圖表顯示在顯示屏上,可以保存和打印測量數(shù)據(jù)。

      image.png

      產(chǎn)品規(guī)格

      測量厚度范圍0.5-100um(光學(xué)厚度)實(shí)際厚度是將上述除以折射率得到的值
      保障區(qū)域傳感器、急停開關(guān)、聯(lián)鎖
      測量時間15分鐘,1200毫米
      權(quán)力AC100V?50,60Hz?5A以下
      測量位置設(shè)置在 0 到 1200 mm 之間,間距為 1 mm
      寬度分辨率0.1-200mm可任意設(shè)定
      寬度位置精度±0.02毫米
      設(shè)置波長范圍400-1000納米
      設(shè)置發(fā)光部分5倍物鏡
      測量光斑直徑φ1毫米


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