金屬表面酸化度如何進(jìn)行管理？

利用振動(dòng)電容法（開爾文探針）對(duì)因電暈放電而在固體表面放置的電荷引起的表面電位變化進(jìn)行非接觸測(cè)量，定量測(cè)定金屬等基材表面的污染程度評(píng)估。

測(cè)量可以在幾分鐘內(nèi)完成，因此它不僅可以用于清潔工藝開發(fā)，還可以用于生產(chǎn)線上零件的表面清潔度控制。
由于表面電位衰減曲線取決于薄膜的電性能和膜厚，因此也可用于控制絕緣體薄膜的厚度、金屬表面氧化層的厚度以及DLC薄膜的質(zhì)量控制。

對(duì)銅合金、鋁合金、引線框架材料、鍍鎳等自然氧化層和強(qiáng)制加熱氧化層可實(shí)現(xiàn)工藝內(nèi)定量控制。

銅合金自然氧化膜的定量評(píng)價(jià)

圖1 電荷轉(zhuǎn)移后的表面電位變化 <磷脫氧銅>

圖2 初始表面電位Vi的轉(zhuǎn)變

圖3 表面電位位移dV0的轉(zhuǎn)變

圖4 表面電勢(shì)位移dV0的轉(zhuǎn)變（磷脫氧銅）