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      Product center

      日本ATA金屬等離子鍍膜機介紹

      發(fā)布時間:2022-04-12 點擊量:1683

      日本ATA金屬等離子鍍膜機介紹 AT-ET, AT-ETa

      特征

      通過結(jié)合旋轉(zhuǎn)泵并使其成為桌面型,實現(xiàn)了小空間。
      操作簡單,從排氣到涂裝完成自動響應(yīng)。
      采用數(shù)字顯示器,便于了解真空度。
      低價。

      目標:Au Pt Ag Au-Pd In 可用。(Φ30 t:0.1 mm,In 為 0.5 mm)(另售)
      使用 In 時,我們推薦與氬氣兼容的 AT-ETa。

      規(guī)格


      濺射
      DC磁控濺射
      放電電壓:DC 1500V max
      放電電流:從DC 10、20、30、40mA中選擇
      目標(單獨出售)可以使用厚度為φ30、0.1mm的Au、Pt、Ag、Au(8)-Pd(2)和厚度為φ30、0.5mm的In。
      使用的氣體

      空氣,Ar(Ar 僅適用于 AT-ETA)

      達到真空壓力8Pa以下
      腔室尺寸φ87mm
      樣品架φ70mm
      真空排氣旋轉(zhuǎn)泵(10L/min)*內(nèi)置
      尺寸機身 250W x 370D x 325H
      重量機身約15kg
      電源供應(yīng)交流 100V 3A


      涂層示例

      ◆ 不平整樣品的圖像(濾紙表面)(SEM圖像)

      放大倍率 x 2,000 倍




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