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      Product center

      氧化鋯氧量分析儀的使用及維護

      發(fā)布時間:2021-06-25 點擊量:1827

      氧化鋯氧量分析儀的使用及維護

      半導體/液晶/電子元件相關應用半導體、電子元件用氧分析儀
      MS-500、LC-450A、LC-450D、LC-860

      氧氣計 MS-500

      MS-500

      • 最多可同時測量 8 個點
      • 可以顯示從 ppm 級到 100% 的各種濃度。
      • 適合安裝在半導體制造設備、真空設備等上。
      • 傳感器為直插式(NW 法蘭用于真空 16/25/40)
      • 高度耐用的傳感器采用特殊涂層,以進一步提高耐用性。?

      MS-500 設備規(guī)格

      測量原理

      氧化鋯濃縮電池供電

      形狀

      分離式(轉(zhuǎn)換器:壁掛式,傳感器:直插式)

      顯示方式

      數(shù)字4位顯示(濃度顯示)

      測量范圍

      0-1 / 10/100 / 1000ppm / 1/10 / 100vol% O 2 10 -20 ~ 10 -0 atm
      自動量程

      重復性

      在 ± 0.5% FS 0-1% 范圍內(nèi)或更多
      ± 1% FS 或更少或 ±
      0.1ppm更大 0-1% 范圍小于0-1ppm,atm 范圍超出保證濃度范圍

      測量點數(shù)

      1-8

      樣氣條件

      壓力

      10 -3~ 200 KPa(絕壓)

      流量

      0.5-5,000 mL/min 或 0 mL/min(自然擴散狀態(tài)的測量)

      濕度

      露點低于環(huán)境溫度

      溫度

      0-100℃

      其他

      不含腐蝕性氣體(氟系氣體、氯系氣體、硫系氣體等)、含有機硅的氣體、可燃成分(包括瓦斯)、油、水。

      比較氣體

      氣氛

      錄音機輸出

      僅傳輸輸出

      傳輸輸出

      RS-232C

      報警輸出

      沒有任何

      熱身時間

      6分鐘內(nèi)

      尺寸

      MS-500(控制器)

      92 (W) x 44 (H) x 120 (D)(不包括突出部分)

      MS-510(轉(zhuǎn)換器)

      100 (W) x 40 (H) x 88 (D)(不包括突出部分)

      傳感器單元

      SD16NW

      全長100mm(感應部分Φ11×39,本體部分Φ40×51)

      SD25NW

      全長100mm(感應部分Φ11×42,本體部分Φ40×48)

      SD40NW

      全長100mm(感應部分Φ11×41,本體部分Φ40×49)

      大量的

      MS-500(控制器)

      約0.6Kg

      MS-510(換能器)

      約0.5kg

      傳感器單元

      SD16NW

      約0.2Kg

      SD25NW

      約0.2Kg

      SD40NW

      約0.35Kg

      外部連接

      真空法蘭之一(NW16、25、40)

      使用的電源

      24VDC ± 10%

       

       

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