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      日本東麗toray半導(dǎo)體,電子元件氧氣分析儀介紹

      發(fā)布時間:2021-01-19 點擊量:2252

      日本東麗toray半導(dǎo)體,電子元件氧氣分析儀MS-500,LC-450A,LC-450D,LC-860介紹

      氧氣表MS-500

      • 多可以同時測量8個點
      • 可以顯示從ppm級到100%的多種濃度。
      • 非常適合安裝在半導(dǎo)體制造設(shè)備,真空設(shè)備等上。
      • 傳感器是直接插入型(用于真空16/25/40的NW法蘭)
      • 特殊涂層應(yīng)用于高度耐用的傳感器,以進一步提高耐用性。

      MS-500設(shè)備規(guī)格

      測量原理氧化鋯輕型電池
      形狀分體式(轉(zhuǎn)換器:壁掛式,傳感器:直接插入式)
      顯示方式4位數(shù)字顯示(密度顯示)
      測量范圍

      0-1 / 10/100 / 1000PPM / 1/10 / 100體積%氧氣2 

      10 -20?10 -0大氣壓自動范圍

      重復(fù)性

      在±0.5%FS 0-1%范圍內(nèi)或更大的范圍內(nèi)
      ±1%FS或以下或±0.1ppm大于0-1%的0-1%

      小于0-1ppm,atm范圍超出了保證的濃度范圍

      測量點數(shù)1-8
      樣氣條件壓力10 -3至200 KPa(壓力)
      流量

      0.5-5,000 mL / min或0 mL / min(自然擴散狀態(tài)的

      測量)

      濕度露點低于環(huán)境溫度
      溫度0-100℃
      其他

      不包含腐蝕性氣體(基于氟的氣體,基于氯的氣體,

      基于硫化物的氣體等),包含有機硅的氣體,可燃成分(包括氣體),油和水。

      比較氣大氣層
      記錄儀輸出僅變速箱輸出
      變速箱輸出RS-232C
      報警輸出沒有
      熱身時間6分鐘以內(nèi)
      尺寸MS-500(控制器)92(W)x 44(H)x 120(D)(不包括突起)
      MS-510(轉(zhuǎn)換器)100(W)x 40(H)x 88(D)(不包括突起)
      傳感器單元SD16NW總長100 mm(感應(yīng)部分Φ11×39,主體部分Φ40×51)
      SD25NW總長100mm(感應(yīng)部分Φ11×42,主體部分Φ40×48)
      SD40NW總長100 mm(感應(yīng)部分Φ11×41,主體部分Φ40×49)
      大眾MS-500(控制器)約0.6Kg
      MS-510(轉(zhuǎn)換器)約0.5kg
      傳感器單元SD16NW約0.2Kg
      SD25NW約0.2Kg
      SD40NW約0.35Kg
      外部連接真空法蘭之一(NW16、25、40)
      使用電源24VDC±10%

      氧氣計LC-450A,LC-450D

      LC-450A,LC-450D


      • 可以顯示很寬的濃度范圍,從測量到的濃度范圍內(nèi)的ppm水平到100%。
      • 改進的傳感器耐用性
        氧氣傳感器經(jīng)過特殊處理,以提高其耐用性。
      • 交流寬電源AC100-240VAC(LC-450A)
        * LC-450D由24V DC驅(qū)動
      • 緊湊且易于安裝
        深度比我們的傳統(tǒng)型號還要短,并且不會占用太多空間。
      • 符合RoHS的產(chǎn)品
      • CE標志自我聲明產(chǎn)品
        EN61010-1:2002,EN61326:+ A3:2003

      LC-450A設(shè)備規(guī)格

      測量原理氧化鋯輕型電池
      形狀桌面型/面板安裝型
      顯示方式4位數(shù)字顯示(密度顯示)
      測量范圍0-1 / 10/100 / 1000PPM / 1/10 / 100體積%氧氣2 10 -20?10 -0 ATM自動范圍
      重復(fù)性在±1%FS 0-1ppm之內(nèi),大氣壓范圍超出了保證的濃度范圍
      取樣方式內(nèi)置泵的連續(xù)吸入型
      樣氣條件壓力加壓30 KPa以下
      流量1,000-2,000毫升/分鐘
      濕度露點低于環(huán)境溫度
      溫度0-50℃
      其他不包含腐蝕性氣體(基于氟的氣體,基于氯的氣體,基于硫化物的氣體等),包含有機硅的氣體,可燃成分(包括氣體),油和水。
      比較氣大氣層
      記錄儀
      輸出
      氧氣濃度輸出在4-20mA和0-20mA之間切換(可選0-10V)絕緣,負載電阻550Ω或更小
      記錄儀輸出范圍為滿量程,線性輸出至氧氣濃度
      輸出范圍0-100%,0-1000ppm,0-100ppm,0-10ppm自動/固定范圍
      變速箱輸出RS-232C
      報警輸出失敗(設(shè)備錯誤)1分非電壓接點,接點容量30VDC / AC或以下,0.5A或以下
      設(shè)備異常導(dǎo)致接點閉合(可以更改接點操作)
      ALM(濃度警報)2點(H / L)非電壓接點,接點容量30VDC / AC或以下,0.5A或以下
      發(fā)生警報時觸點閉合(可以更改接點操作)
      RDY(預(yù)熱信號)1分非電壓接點,接點容量30VDC / AC以下,0.5A以下
      • 無電壓觸點的小開關(guān)容量為12V或更高,并且無法承受微小的負載。
      MRK(范圍標記)輸出2分非電壓接點,接點容量30VDC / AC以下,0.5A以下
      熱身時間5分鐘以內(nèi)
      尺寸身體210(W)x 134(H)x 300(D)mm(不包括突起)
      大眾約6kg
      氣體
      連接口
      進口Rc1 / 4
      旁路輸出Rc1 / 4
      出口Rc1 / 4
      使用電源100-240VAC,50VA(穩(wěn)定:35VA)50Hz / 60Hz

      LC-450D設(shè)備規(guī)格

      測量原理氧化鋯輕型電池
      形狀桌面型/面板安裝型
      顯示方式4位數(shù)字顯示(密度顯示)
      測量范圍0-1 / 10/100 / 1000PPM / 1/10 / 100體積%氧氣2 10 -20?10 -0 ATM自動范圍
      重復(fù)性在±1%FS 0-1ppm之內(nèi),大氣壓范圍超出了保證的濃度范圍
      取樣方式內(nèi)置泵的連續(xù)吸入型
      樣氣條件壓力加壓30 KPa以下
      流量?1,500L /分鐘
      濕度露點低于環(huán)境溫度
      溫度0-50℃
      其他不包含腐蝕性氣體(基于氟的氣體,基于氯的氣體,基于硫化物的氣體等),包含有機硅的氣體,可燃成分(包括氣體),油和水。
      比較氣大氣層
      記錄儀
      輸出
      氧氣濃度輸出0-10VDC,絕緣,負載電阻600kΩ或更高
      (選件:4-20mADC,絕緣,負載電阻550Ω或更低)
      記錄儀輸出范圍為滿量程,線性輸出至氧氣濃度
      輸出范圍0-100%,0-1000ppm,0-100ppm,0-10ppm自動/固定范圍
      變速箱輸出RS-232C
      報警輸出失敗(設(shè)備錯誤)1分非電壓接點,接點容量30VDC / AC或以下,0.5A或以下
      設(shè)備異常導(dǎo)致接點閉合(可以更改接點操作)
      ALM(濃度警報)2點(L / LL)非電壓接點,接點容量30VDC / AC或以下,0.5A或以下
      發(fā)生警報時觸點閉合(可以更改接點操作)
      RDY(預(yù)熱信號)1分非電壓接點,接點容量30VDC / AC或更小,0.5A或更小
      在預(yù)熱操作期間觸點閉合(可以更改觸點操作)
      • 非電壓觸點的小開關(guān)容量為12V或20mA或更高,并且無法承受微小的負載。
      MRK(范圍標記)輸出2分非電壓接點,接點容量30VDC / AC以下,0.5A以下
      熱身時間5分鐘以內(nèi)
      尺寸身體240(W)x 134(H)x 210(D)mm(不包括突起)
      大眾約5kg
      氣體
      連接口
      進口Rc1 / 8
      旁路輸出Rc1 / 8
      出口Rc1 / 8
      使用電源24VDC±10%,1.25A(30VA,穩(wěn)態(tài))

      氧氣計LC-860

      LC-860

      • 低濃度測量
        可以測量ppb到100%
      • 操作簡便
        按功能可輕松操作
      • 吹掃功能
        比較氣體更穩(wěn)定,測量更精que(僅適用于具有吹掃功能的規(guī)格)
      • 高可靠性傳感器傳感器
        內(nèi)部還可以進行防劣化處理(可選)

      LC-860設(shè)備規(guī)格

      測量原理氧化鋯輕型電池
      形狀桌面型/面板安裝型
      顯示方式6位數(shù)字顯示(密度顯示)
      測量范圍0-1 / 10/100 / 1000PPM / 1/10 / 100體積%氧氣2 10 -20?10 -0大氣壓
      自動/固定范圍
      重復(fù)性
      氧氣濃度在±1%FS之內(nèi)且小于1ppm和0-1ppm,大氣壓范圍超出保證的濃度范圍
      取樣方式內(nèi)置泵的連續(xù)吸入型
      樣氣條件壓力加壓30 KPa以下
      流量?1,500mL /分鐘
      濕度露點低于環(huán)境溫度
      溫度0-50℃
      其他不包含腐蝕性氣體(基于氟的氣體,基于氯的氣體,基于硫化物的氣體等),包含有機硅的氣體,可燃成分(包括氣體),油和水。
      比較氣大氣層
      記錄儀
      輸出
      氧氣濃度輸出4-20mA / 0-10V 4-20mA
      :絕緣,負載電阻為600Ω或更低
      0-10V:絕緣,負載電阻為500Ω或更高
      記錄儀輸出范圍為滿量程,線性輸出至氧氣濃度
      輸出范圍0-100%,0-10%,0-1%,0-1000ppm,0-100ppm,0-10ppm,0-1ppm,10 -20 -10 -0 或自動/固定范圍的任意4個范圍
      變速箱輸出RS-232C
      報警輸出失敗(設(shè)備錯誤)1分非電壓接點,接點容量24VDC / AC或更小,0.1A或更小
      由于設(shè)備異常,觸點閉合(可以更改觸點操作)
      ALM(濃度警報)2分非電壓接點,接點容量24VDC / AC或更小,0.1A或更小
      發(fā)生警報時觸點閉合(可以更改觸點操作)
      RDY(預(yù)熱信號)1分非電壓接點,接點容量24VDC / AC或以下,0.5A或以下
      在預(yù)熱操作期間觸點閉合(可以更改觸點操作)
      • 無電壓觸點的小開關(guān)容量為12V或更高,并且不能承受微小的負載。
      MRK(范圍標記)輸出3分非電壓接點,接點容量24VDC / AC以下,0.1A以下
      熱身時間20分鐘以內(nèi)
      尺寸身體288(W)x 144(H)x 400(D)mm(不包括突起)
      大眾約10kg
      氣體
      連接口
      進口Rc1 / 8
      旁路輸出Rc1 / 8
      出口Rc1 / 4
      使用電源100-120VAC±10%200VA 50Hz / 60Hz的

       

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