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      網(wǎng)站首頁(yè)技術(shù)中心 > 日本東麗toray半導(dǎo)體,電子元件氧氣分析儀MS-500
      產(chǎn)品中心

      Product center

      日本東麗toray半導(dǎo)體,電子元件氧氣分析儀MS-500

      發(fā)布時(shí)間:2020-11-20 點(diǎn)擊量:1754

      日本東麗toray半導(dǎo)體,電子元件氧氣分析儀MS-500,LC-450A,LC-450D,LC-860

      氧氣表MS-500

      • 多可以同時(shí)測(cè)量8個(gè)點(diǎn)
      • 可以顯示從ppm級(jí)到100%的多種濃度。
      • 非常適合安裝在半導(dǎo)體制造設(shè)備,真空設(shè)備等上。
      • 傳感器是直接插入型(用于真空16/25/40的NW法蘭)
      • 特殊涂層應(yīng)用于高度耐用的傳感器,以進(jìn)一步提高耐用性。

      MS-500設(shè)備規(guī)格

      測(cè)量原理

      氧化鋯輕型電池

      形狀

      分體式(轉(zhuǎn)換器:壁掛式,傳感器:直接插入式)

      顯示方式

      4位數(shù)字顯示(密度顯示)

      測(cè)量范圍

      0-1 / 10/100 / 1000PPM / 1/10 / 100體積%氧氣2 10 -20?10 -0大氣壓
      自動(dòng)范圍

      重復(fù)性

      在±0.5%FS 0-1%范圍內(nèi)或更高
      ±1%FS以下或≤±
      0.1ppm大于0-1ppm的0-1%內(nèi),atm范圍超出保證的濃度

      測(cè)量點(diǎn)數(shù)

      1-8

      樣氣條件

      壓力

      10 -3至200 KPa(壓力)

       

      流量

      0.5-5,000 mL / min或0 mL / min(自然擴(kuò)散狀態(tài)的測(cè)量)

       

      濕度

      露點(diǎn)低于環(huán)境溫度

       

      溫度

      0-100℃

       

      其他

      不包含腐蝕性氣體(基于氟的氣體,基于氯的氣體,基于硫化物的氣體等),包含有機(jī)硅的氣體,可燃成分(包括氣體),油和水。

      比較氣

      大氣層

      記錄儀輸出

      僅變速箱輸出

      變速箱輸出

      RS-232C

      報(bào)警輸出

      沒(méi)有

      熱身時(shí)間

      6分鐘以內(nèi)

      尺寸

      MS-500(控制器)

      92(W)x 44(H)x 120(D)(不包括突起)

       

      MS-510(轉(zhuǎn)換器)

      100(W)x 40(H)x 88(D)(不包括突起)

       

      傳感器單元

      SD16NW

      總長(zhǎng)100 mm(感應(yīng)部分Φ11×39,主體部分Φ40×51)

       

       

      SD25NW

      總長(zhǎng)100mm(感應(yīng)部分Φ11×42,主體部分Φ40×48)

       

       

      SD40NW

      總長(zhǎng)100 mm(感應(yīng)部分Φ11×41,主體部分Φ40×49)

      大眾

      MS-500(控制器)

      約0.6Kg

       

      MS-510(轉(zhuǎn)換器)

      約0.5kg

       

      傳感器單元

      SD16NW

      約0.2Kg

       

       

      SD25NW

      約0.2Kg

       

       

      SD40NW

      約0.35Kg

      外部連接

      真空法蘭之一(NW16、25、40)

      使用電源

      24VDC±10%

      氧氣計(jì)LC-450A,LC-450D


      • 可以顯示很寬的濃度范圍,從測(cè)量到的濃度范圍內(nèi)的ppm水平到100%。
      • 改進(jìn)的傳感器耐用性
        氧氣傳感器經(jīng)過(guò)特殊處理,以提高其耐用性。
      • 交流寬電源AC100-240VAC(LC-450A)
        * LC-450D由24V DC驅(qū)動(dòng)
      • 緊湊且易于安裝
        深度比我們的傳統(tǒng)型號(hào)還要短,并且不會(huì)占用太多空間。
      • 符合RoHS的產(chǎn)品
      • CE標(biāo)志自我聲明產(chǎn)品
        EN61010-1:2002,EN61326:+ A3:2003

      LC-450A設(shè)備規(guī)格

      測(cè)量原理

      氧化鋯輕型電池

      形狀

      桌面型/面板安裝型

      顯示方式

      4位數(shù)字顯示(密度顯示)

      測(cè)量范圍

      0-1 / 10/100 / 1000PPM / 1/10 / 100體積%氧氣2 10 -20?10 -0 ATM自動(dòng)范圍

      重復(fù)性

      在±1%FS 0-1ppm之內(nèi),大氣壓范圍超出了保證的濃度范圍

      取樣方式

      內(nèi)置泵的連續(xù)吸入型

      樣氣條件

      壓力

      加壓30 KPa以下

       

      流量

      1,000-2,000毫升/分鐘

       

      濕度

      露點(diǎn)低于環(huán)境溫度

       

      溫度

      0-50℃

       

      其他

      不包含腐蝕性氣體(基于氟的氣體,基于氯的氣體,基于硫化物的氣體等),包含有機(jī)硅的氣體,可燃成分(包括氣體),油和水。

      比較氣

      大氣層

      記錄儀
      輸出

      氧氣濃度輸出

      在4-20mA和0-20mA之間切換(可選0-10V)絕緣,負(fù)載電阻550Ω或更小
      記錄儀輸出范圍為滿量程,線性輸出至氧氣濃度

       

      輸出范圍

      0-100%,0-1000ppm,0-100ppm,0-10ppm自動(dòng)/固定范圍

      變速箱輸出

      RS-232C

      報(bào)警輸出

      失敗(設(shè)備錯(cuò)誤)

      1分

      非電壓接點(diǎn),接點(diǎn)容量30VDC / AC或以下,0.5A或以下
      設(shè)備異常導(dǎo)致接點(diǎn)閉合(可以更改接點(diǎn)操作)

       

      ALM(濃度警報(bào))

      2點(diǎn)(H / L)

      非電壓接點(diǎn),接點(diǎn)容量30VDC / AC或以下,0.5A或以下
      發(fā)生警報(bào)時(shí)觸點(diǎn)閉合(可以更改接點(diǎn)操作)

       

      RDY(預(yù)熱信號(hào))

      1分

      非電壓接點(diǎn),接點(diǎn)容量30VDC / AC以下,0.5A以下

      · 無(wú)電壓觸點(diǎn)的小開關(guān)容量為12V或更高,并且無(wú)法承受微小的負(fù)載。

       

      MRK(范圍標(biāo)記)輸出

      2分

      非電壓接點(diǎn),接點(diǎn)容量30VDC / AC以下,0.5A以下

      熱身時(shí)間

      5分鐘以內(nèi)

      尺寸

      身體

      210(W)x 134(H)x 300(D)mm(不包括突起)

      大眾

      約6kg

      氣體
      連接口

      進(jìn)口

      Rc1 / 4

       

      旁路輸出

      Rc1 / 4

       

      出口

      Rc1 / 4

      使用電源

      100-240VAC,50VA(穩(wěn)定:35VA)50Hz / 60Hz

      LC-450D設(shè)備規(guī)格

      測(cè)量原理

      氧化鋯輕型電池

      形狀

      桌面型/面板安裝型

      顯示方式

      4位數(shù)字顯示(密度顯示)

      測(cè)量范圍

      0-1 / 10/100 / 1000PPM / 1/10 / 100體積%氧氣2 10 -20?10 -0 ATM自動(dòng)范圍

      重復(fù)性

      在±1%FS 0-1ppm之內(nèi),大氣壓范圍超出了保證的濃度范圍

      取樣方式

      內(nèi)置泵的連續(xù)吸入型

      樣氣條件

      壓力

      加壓30 KPa以下

       

      流量

      ?1,500L /分鐘

       

      濕度

      露點(diǎn)低于環(huán)境溫度

       

      溫度

      0-50℃

       

      其他

      不包含腐蝕性氣體(基于氟的氣體,基于氯的氣體,基于硫化物的氣體等),包含有機(jī)硅的氣體,可燃成分(包括氣體),油和水。

      比較氣

      大氣層

      記錄儀
      輸出

      氧氣濃度輸出

      0-10VDC,絕緣,負(fù)載電阻600kΩ或更高
      (選件:4-20mA DC,絕緣,負(fù)載電阻550Ω或更低)
      記錄儀輸出范圍為滿量程,線性輸出至氧氣濃度

       

      輸出范圍

      0-100%,0-1000ppm,0-100ppm,0-10ppm自動(dòng)/固定范圍

      變速箱輸出

      RS-232C

      報(bào)警輸出

      失敗(設(shè)備錯(cuò)誤)

      1分

      非電壓接點(diǎn),接點(diǎn)容量30VDC / AC或以下,0.5A或以下
      設(shè)備異常導(dǎo)致接點(diǎn)閉合(可以更改接點(diǎn)操作)

       

      ALM(濃度警報(bào))

      2點(diǎn)(L / LL)

      非電壓接點(diǎn),接點(diǎn)容量30VDC / AC或以下,0.5A或以下
      發(fā)生警報(bào)時(shí)觸點(diǎn)閉合(可以更改接點(diǎn)操作)

       

      RDY(預(yù)熱信號(hào))

      1分

      非電壓接點(diǎn),接點(diǎn)容量30VDC / AC或以下,0.5A或以下
      在預(yù)熱操作期間觸點(diǎn)閉合(可以更改觸點(diǎn)操作)

      · 非電壓觸點(diǎn)的小開關(guān)容量為12V或20mA或更高,并且無(wú)法承受微小的負(fù)載。

       

      MRK(范圍標(biāo)記)輸出

      2分

      非電壓接點(diǎn),接點(diǎn)容量30VDC / AC以下,0.5A以下

      熱身時(shí)間

      5分鐘以內(nèi)

      尺寸

      身體

      240(W)x 134(H)x 210(D)mm(不包括突起)

      大眾

      約5kg

      氣體
      連接口

      進(jìn)口

      Rc1 / 8

       

      旁路輸出

      Rc1 / 8

       

      出口

      Rc1 / 8

      使用電源

      24VDC±10%,1.25A(30VA,穩(wěn)態(tài))

      氧氣計(jì)LC-860

      LC-860

      • 低濃度測(cè)量
        可以測(cè)量ppb到100%
      • 操作簡(jiǎn)便
        按功能可輕松操作
      • 吹掃功能
        比較氣體更穩(wěn)定,測(cè)量更精que(僅適用于具有吹掃功能的規(guī)格)
      • 高可靠性傳感器傳感器
        內(nèi)部還可以進(jìn)行防劣化處理(可選)

      LC-860設(shè)備規(guī)格

      測(cè)量原理氧化鋯輕型電池
      形狀桌面型/面板安裝型
      顯示方式6位數(shù)字顯示(密度顯示)
      測(cè)量范圍0-1 / 10/100 / 1000PPM / 1/10 / 100體積%氧氣2 10 -20?10 -0大氣壓
      自動(dòng)/固定范圍
      重復(fù)性
      氧氣濃度在±1%FS之內(nèi)且小于1ppm和0-1ppm,大氣壓范圍超出保證的濃度范圍
      取樣方式內(nèi)置泵的連續(xù)吸入型
      樣氣條件壓力加壓30 KPa以下
      流量?1,500mL /分鐘
      濕度露點(diǎn)低于環(huán)境溫度
      溫度0-50℃
      其他不包含腐蝕性氣體(基于氟的氣體,基于氯的氣體,基于硫化物的氣體等),包含有機(jī)硅的氣體,可燃成分(包括氣體),油和水。
      比較氣大氣層
      記錄儀
      輸出
      氧氣濃度輸出4-20mA / 0-10V 4-20mA
      :絕緣,負(fù)載電阻為600Ω或更低
      0-10V:絕緣,負(fù)載電阻為500Ω或更高
      記錄儀輸出范圍為滿量程,線性輸出至氧氣濃度
      輸出范圍0-100%,0-10%,0-1%,0-1000ppm,0-100ppm,0-10ppm,0-1ppm,10 -20 -10 -0 或自動(dòng)/固定范圍的任意4個(gè)范圍
      變速箱輸出RS-232C
      報(bào)警輸出失敗(設(shè)備錯(cuò)誤)1分非電壓接點(diǎn),接點(diǎn)容量24VDC / AC或更小,0.1A或更小
      由于設(shè)備異常,觸點(diǎn)閉合(可以更改觸點(diǎn)操作)
      ALM(濃度警報(bào))2分非電壓接點(diǎn),接點(diǎn)容量24VDC / AC或更小,0.1A或更小
      發(fā)生警報(bào)時(shí)觸點(diǎn)閉合(可以更改觸點(diǎn)操作)
      RDY(預(yù)熱信號(hào))1分非電壓接點(diǎn),接點(diǎn)容量24VDC / AC或更小,0.5A或更小
      預(yù)熱操作期間觸點(diǎn)閉合(可以更改觸點(diǎn)操作)
      • 無(wú)電壓觸點(diǎn)的小開關(guān)容量為12V或更高,并且不能承受微小的負(fù)載。
      MRK(范圍標(biāo)記)輸出3分非電壓接點(diǎn),接點(diǎn)容量24VDC / AC以下,0.1A以下
      熱身時(shí)間20分鐘以內(nèi)
      尺寸身體288(W)x 144(H)x 400(D)mm(不包括突起)
      大眾約10kg
      氣體
      連接口
      進(jìn)口Rc1 / 8
      旁路輸出Rc1 / 8
      出口Rc1 / 4
      使用電源100-120VAC±10%200VA 50Hz / 60Hz的
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