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      氧氣分析儀在半導體/液晶/電子元器件等領域的相關應用

      發(fā)布時間:2020-10-16 點擊量:1671

      日本東麗TORAY氧氣分析儀MS-500、LC-450A、LC-450D、LC-860

      氧氣表MS-500

      • 多可以同時測量8個點
      • 濃度范圍從ppm到100%均可顯示。
      • 非常適合安裝在半導體制造設備,真空設備等上。
      • 傳感器是直接插入型(用于真空16/25/40的NW法蘭)
      • 特殊涂層應用于高度耐用的傳感器,以進一步提高耐用性。

      MS-500設備規(guī)格

      測量原理

      氧化鋯輕型電池

      形狀

      分體式(轉換器:壁掛式,傳感器:直接插入式)

      顯示方式

      4位數字顯示(密度顯示)

      測量范圍

      0-1 / 10/100 / 1000PPM / 1/10 / 100體積%氧氣2 10 -20?10 -0大氣壓
      自動范圍

      重復性

      在±0.5%FS 0-1%范圍內或以上
      ±1%FS以下或≤±
      0.1ppm大于0-1ppm的0-1%內,atm范圍超出保證的濃度范圍

      測量點數

      1-8

      樣氣條件

      壓力

      10 -3至200 KPa(壓力)

      流量

      0.5-5,000 mL / min或0 mL / min(自然擴散狀態(tài)的測量)

      濕度

      露點低于環(huán)境溫度

      溫度

      0-100℃

      其他

      不包含腐蝕性氣體(基于氟的氣體,基于氯的氣體,基于硫化物的氣體等),包含有機硅的氣體,可燃成分(包括氣體),油和水。

      比較氣

      大氣層

      記錄儀輸出

      僅變速箱輸出

      變速箱輸出

      RS-232C

      報警輸出

      沒有

      熱身時間

      6分鐘以內

      尺寸

      MS-500(控制器)

      92(W)x 44(H)x 120(D)(不包括突起)

      MS-510(轉換器)

      100(W)x 40(H)x 88(D)(不包括突起)

      傳感器單元

      SD16NW

      總長100 mm(感應部分Φ11×39,主體部分Φ40×51)

      SD25NW

      總長100mm(感應部分Φ11×42,主體部分Φ40×48)

      SD40NW

      總長100 mm(感應部分Φ11×41,主體部分Φ40×49)

      大眾

      MS-500(控制器)

      約0.6Kg

      MS-510(轉換器)

      約0.5kg

      傳感器單元

      SD16NW

      約0.2Kg

      SD25NW

      約0.2Kg

      SD40NW

      約0.35Kg

      外部連接

      真空法蘭之一(NW16、25、40)

      使用電源

      24VDC±10%

       

      氧氣計LC-450A,LC-450D

      LC-450A,LC-450D


      • 可以顯示很寬的濃度范圍,從測量到的濃度范圍內的ppm水平到100%。
      • 改進的傳感器耐用性
        氧氣傳感器經過特殊處理,以提高其耐用性。
      • 交流寬電源AC100-240VAC(LC-450A)
        * LC-450D由24V DC驅動
      • 緊湊且易于安裝
        深度比我們的傳統型號還要短,并且不會占用太多空間。
      • 符合RoHS的產品
      • CE標志自我聲明產品
        EN61010-1:2002,EN61326:+ A3:2003

      氧氣計LC-860

      LC-860

      • 低濃度測量
        可以測量ppb到100%
      • 操作簡便
        按功能可輕松操作
      • 吹掃功能
        比較氣體更穩(wěn)定,測量更精que(僅適用于具有吹掃功能的規(guī)格)
      • 高可靠性傳感器傳感器
        內部還可以進行防劣化處理(可選)

       

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